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ATV真空回流爐的基本組成
日期：2025-04-05 04:54
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摘要：
ATV真空回流爐包括以下幾個結構：氣路系統、冷卻系統、加熱系統，真空系統、測量系統和**系統：
氣路系統
N2有三路：一路通到工藝腔體；一路作為氣冷通入冷卻管（和水冷一個管道）；一路通到真空泵gas ballast，作為提高真空泵壓縮比的功能。 H2有一路，通到腔體內。H2/N2一路，通道腔體內。
冷卻系統
分為內循環(huán)和外循環(huán) 內循環(huán)：設備內部有個水箱，內裝有DI water，通過水泵將水箱里面水進行循環(huán)，用來冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環(huán)：客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱。
加熱系統
ATV真空回流爐包括主加熱和邊緣加熱。
主加熱也就是整個加熱板。占加熱的95%。
邊緣加熱是在熱板的四周追加邊緣加熱絲，為了更好的提高熱板的均勻性，增大工藝有效面積。
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